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Cheung, Kin P.,

Plasma charging damage / Kin P. Cheung - xii, 346 páginas : ilustraciones

ISBN: 1852331445 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Efectos de la radiación
Semiconductores de metal-óxido--Defectos
Radiación del plasma

LC Class. No.: TK7871.85 / C497

Dewey Class. No.: 621.3815/2