Cheung, Kin P., <br/><br/>
Plasma charging damage / 
Kin P. Cheung 
 - xii, 346 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>1852331445 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Efectos de la radiación<br/>Semiconductores de metal-óxido--Defectos<br/>Radiación del plasma
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / C497 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2